सिलिकॉन नाइट्राइड का संश्लेषण पहली बार 1857 में हेनरी एडोअर्ड सेंट-क्लेयर डेविल और फ्रेडरिक वोलर द्वारा रिपोर्ट किया गया था। उनके संश्लेषण में, सिलिकॉन के साथ एक क्रूसिबल को कार्बन से भरे एक क्रूसिबल में रखा गया था और ऑक्सीजन के प्रवेश को कम करने के लिए गर्म किया गया था। उन्होंने एक उत्पाद की सूचना दी कि उन्होंने सिलिकॉन नाइट्राइड को बुलाया, लेकिन इसकी रासायनिक संरचना को निर्धारित करने में असमर्थ थे।
1879 में, पॉल Schützenberger ने एक अस्तर सामग्री के साथ मिश्रित सिलिकॉन को गर्म करके उत्पाद प्राप्त किया (एक पेस्ट जिसे एक क्रूसिबल लाइनर के रूप में इस्तेमाल किया जा सकता है, जो एक विस्फोट की भट्ठी में चारकोल, कोयला ब्रिकेट्स या कोक के साथ प्राप्त किया गया था) और इसे SI3N4 के साथ एक परिसर के रूप में रिपोर्ट किया गया। 1910 में, लुडविग वीस और थियोडोर एंगेलहार्ट ने शुद्ध नाइट्रोजन में मौलिक सिलिकॉन को गर्म करके SI3N4 का उत्पादन किया। 1925 में, फ्रेडरिक और सिटिग ने कार्बन की थर्मल कमी का उपयोग करके 1250-1300 डिग्री के लिए नाइट्रोजन वातावरण में सिलिकॉन डाइऑक्साइड और कार्बन को गर्म करके सिलिकॉन नाइट्राइड को संश्लेषित किया।
