उच्च स्तरीय उत्पाद सिलिकॉन धातु

एक प्रकार कासिलिकॉन मेटलनैनोवायर, 7 नैनोमीटर की न्यूनतम लाइन चौड़ाई के साथ। इस धातु सिलाइड नैनोवायर के निर्माण की विधि में एकल-क्रिस्टल सिलिकॉन सब्सट्रेट पर एक इन्सुलेटिंग फिल्म उगाना शामिल है, नैनोस्केल प्रसंस्करण तकनीकों का उपयोग करके धातु सिलाइड नैनोवायर के निर्माण के लिए खांचे को खोदने के लिए, धातु के स्पटरिंग और वाष्पीकरण के तरीकों को नियुक्त करना सिंगल-क्रिस्टल सिलिकॉन खांचे के निचले भाग में उजागर हुआ, जिससे धातु सिलाइडा पैदा हो। फिर, सतह पर अप्राप्य धातु को हटाने के लिए एक रासायनिक नक़्क़ाशी विधि का उपयोग किया जाता है, जिसके परिणामस्वरूप नैनोग्रूव्स के भीतर गठित धातु सिलसाइड नैनोवायर असतत होते हैं। धातु सिलाइड नैनोवायरों में नियंत्रणीय स्थिति, आकार और लाइन की चौड़ाई की विशेषताएं होती हैं, जिससे उत्पादित धातु सिलाइड नैनोवायरों को एकीकृत सर्किट में धातु इंटरकनेक्ट, स्रोत-नाली और गेट इलेक्ट्रोड के रूप में लागू किया जा सकता है, जो व्यावहारिक आवश्यकताओं के अनुसार गढ़े जा सकते हैं।

1.सौर कोशिकाओं के लिए सिलिकॉन के निर्माण की प्रक्रिया में, बोरॉन को हटाने के लिए एक परिष्कृत विधिसिलिकॉन मेटलपहले की तुलना में अधिक तेजी से किया जा सकता है। विशेष रूप से, जोड़ा पानी वाष्प के साथ आर्गन गैस से युक्त एक प्लाज्मा प्रवाह को धातु सिलिकॉन में निहित बोरॉन को हटाने के लिए पिघले हुए धातु सिलिकॉन की सतह पर उड़ाया जाता है। इस बिंदु पर, गैस को कम करने से पूर्वोक्त प्लाज्मा प्रवाह में जोड़ा जाता है। गैस, गैस इंजेक्शन के कोण, और हीटिंग विधि को कम करने के लिए जल वाष्प के मिश्रण अनुपात को उचित रूप से समायोजित करके, बोरॉन को अधिक प्रभावी ढंग से हटाया जा सकता है।

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